清洗后的硅片怎么保存

1.单晶片和外延晶片的保存；抛光的单晶片或外延晶片可以装入相同尺寸的小塑料袋中，一袋一个，或者背靠背两个。然后，小塑料袋被折叠并包装成定制尺寸的纸箱。盒子上部备用空间放一小包硅胶，防止受潮。合上盖子后，在盖子表面写上批次、型号、存放时间和数量。

2.当使用单晶片和外延片时，只需按要求从仓库中取出，然后小心地从塑料袋中取出硅片，放入化学陶瓷坩埚中进行化学清洗，比较后用去离子水冲洗干燥。

3.如果是融化的小碎片，只需要用小烧杯或玻璃培养皿超声清洗，然后烘干即可。干燥后，如果存放时间较短，会直接放在干净的玻璃培养皿的内盖上，然后放在有研磨孔的玻璃干燥器中。

4.如果干燥后存放时间较长，在干净的玻璃培养皿中放一层定性滤纸，然后在定性滤纸上放一层小芯片，再盖上一层干净的定性滤纸，再放一层小芯片。反正是交替叠放，直到满为止。比较后盖上配套的玻璃培养皿，放入带研磨孔的玻璃干燥器或真空干燥箱中保存。

5.微芯片在使用时，只需取出并用丙酮-乙醇超声波机清洗，比较后用去离子水洗涤并干燥。